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WaferSense® AMS 晶圆型多功能测试片

CyberOptics AMS是能够快速量测振动、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台良率, 型号包括AMS150, AMS200和AMS300
WaferSense® APS 晶圆型颗粒污染侦测片

CyberOptics APS系列产品通过实时、无线地监测颗粒污染物，改进半导体机台装调方式和长期量产良率；更轻、更薄、更精确，型号包括APS150、APS200和APS300
ReticleSense® APSR/APSRQ 光罩型颗粒度量测片

CyberOptics APSR/APSRQ通过实时无线监测颗粒物数量改善机台调教和长期良率，型号为APSR和APSRQ
ReticleSense® AMSR 光罩型多功能测试片

CyberOptics AMSR采用一体式测量装置进行快速的振动、水平和湿度测量，提高良率
WID110/WID120 晶圆ID读取器

WID120/WID110是高性能的晶圆级ID读取器, 在强大的多颜色多角度仿生光源的显影下, 各种挑战性的晶圆OCR和二维码均能被准确读取
WaferSense® AVS 晶圆型振动量测片

CyberOptics AVS快速监测三轴加速度和振动，以减少颗粒污染，缩短半导体机台维护时间, 型号包括：AVS200, AVS300

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