首页    半导体类产品    WaferSense® ATS 晶圆型中心校准片

WaferSense® ATS 晶圆型中心校准片

CyberOptics ATS用于获取三轴偏移数据 (X、Y、 Z) 以快速校准晶圆传输位置,型号包括ATS200和ATS300

通过精确校正晶圆传输位置,提高良率和降低颗粒污染

获取偏移数据,以便在晶圆型ATS穿过半导体机台时精确校准传输位置,用精确校准过的机台能提高工艺良率

 

实现可重复和可复制的半导体机台调教

通过ATS的校准能够消除技术人员之间的操作差异,从而实现可重复和可重复的设置和维护检查

 

将机台停机时间从几小时减少到几分钟

由于机台在调教过程中能保持封闭,使用无线和兼容真空的ATS进行故障排除所需的时间更少。提高机台可用性,减少人力和消耗品费用

 

通过直观检查加快故障排除速度,降低消耗性费用

当机械手在机台内传送ATS时,接收实时图像。直观的图形用户界面提供了X、Y和Z偏移并避免人为猜测。在不打开机台的情况下,可搜索丢失的晶圆并确认底座没有碎屑

 

ATS_350-355

 

产品特点:

  • 晶圆型  可提供200mm和300mm尺寸 (ATS200, ATS300)
  • 高精度  x, y轴精度为+/-0.1mm (+/-0.004in) ; z轴精度为+/-0.8mm (+/-0.03in)
  • 无线并适用于真空  像晶圆一样移动,在检查过程中机台保持密封,且用时更少,数据实时传输
  • 易用的软件  TeachView和TeachReview应用软件根据用户定义的目标显示实时视频和测量值,并记录偏移量和用户备注。TeachTarget软件对ATS进行编程,以找到圆形特征 
  • 机载摄像头  机载图像处理器报告从ATS到机台内目标的X-Y-Z偏移,以便您可以校准晶圆传送坐标

 

 

请点击浏览:CyberOptics公司WaferSense及ReticleSense产品全面介绍