首页    半导体类产品    EUV光刻模拟和原子研发工具

EUV光刻模拟和原子研发工具

Prism是物理科学和工程中用于半导体光刻EUV研究和开发的软件工具,它的软件模拟工具适用于原子物理、等离子体物理、光谱学、流体力学、辐射和热传导等,已经被全球一线晶圆制造公司所采用,用于研发EUV光刻模拟和原子数据采集

产品概览

 

美国Prism CS公司为物理科学和工程的研发来开发软件工具, 其软件模拟工具适用于以下领域的研发

 

  • 原子物理
  • 等离子物理
  • 光谱学
  • 流体力学
  • 辐射和热传导

 

Prism专注于开发易于使用的软件工具,特别适合商业实验室的研究和开发。这些工具也非常适合大学研究生和本科生的研究和教育。Prism软件具有用户友好的图形用户界面和支持可视化软件包,可以轻松查看结果。

 

 

PrismSPECT

 

PrismSPECT_A

 

PrismSPECT 是一种碰撞辐射光谱分析程序,用于模拟实验室和天体物理等离子体的原子和辐射特性。

 

用户可以很容易地研究等离子体光谱特性随等离子体条件的变化。对于用户指定的等离子体条件网格,PrismSPECT 计算LTE和非LTE等离子体的光谱特性(发射和吸收)和电离特性。

 

在设计 PrismSPECT 时,重点是使其易于使用。它具有一个用户友好的图形界面,用于设置问题、监控模拟进度和查看结果。

 

 

SPECT3D

 

Spect3D_A

 

SPECT3D 是一个多维成像和光谱分析软件包。

 

SPECT3D 通常用于对流体动力学模拟的结果进行后处理,以计算可直接与实验数据进行比较的图像和光谱。

 

 

VisRad

 

VisRad_A

 

VISRAD 是一个三维热辐射和CAD代码,它模拟了整个复杂表面系统中光辐射的反射、发射和吸收。该视图特点的代码具有一个用户友好的图形界面,用于设置三维对象网格,并显示定向激光和热辐射计算的结果。

 

VISRAD 包括可在主要研究实验室轻松设置和模拟高能量密度物理(HEDP)实验的定制功能。

 

借助 VISRAD,人们可以很容易地建立一个表面网格,并模拟整个网格的辐射通量和温度分布。它还包括预先配置的激光束和诊断端口系统,允许对激光束实验进行方便的设置、观察和模拟。

 

 

Helios

 

Helios_A

 

HELIOS 是一个一维辐射流体力学程序,设计用于研究辐射等离子体的水动力演化。它可以用来研究由激光束或外部辐射源加热的平面、圆柱形或球形等离子体的演化。在设计HELIOS时,人们非常重视使其易于使用。它具有一个用户友好的图形界面,用于设置问题和监控模拟的进度。

 

HELIOS 的样品应用包括模拟激光产生的等离子体动力学、放电产生的等离子体(Z-Pinches)、辐射加热的等离子体以及材料中的冲击传播。

 

HELIOS-CR 是 HELIOS 的一个增强版本,它包括使用内联碰撞辐射(C-R)模型模拟非局部热力学平衡(非LTE)等离子体动力学的选项。

 

 

PrOpacEOS

 

PROPACEOS_A

 

PrOpacEOS (PRism OPACity and Equation Of State code) 生成状态方程(EOS)和辐射流体动力学模拟代码使用的多组不透明度数据。

 

PrOpacEOS 生成频率相关的不透明度数据和状态方程数据,用于辐射流体动力学代码。

PrOpacEOS 为原子元素和元素混合物生成数据。

 

 

Atomic Data

 

AtomicData_A

 

Prism软件工具使用由ATBASE代码套件生成的原子数据。这为模拟原子过程和计算详细光谱提供了高质量的原子数据。

 

Prism Atomic Data 已广泛应用于各种等离子体实验的分析。

 

Prism Atomic Data 在其他Prism代码(Spect3D、PrismSpect、Helios-CR和Propaceos)中,用于模拟LTE和非LTE等离子体的电离动力学和详细的光谱特性。

 

ATBASE的应用案例:

  • 用于碰撞辐射光谱分析代码的中低z元素的综合原子数据库的生成
  • 为详细研究特定元素或离子的原子过程和光谱特性而定制的原子数据库的计算
  • 在政府实验室和大学进行的基本等离子体物理研究的数据生成
  • 为商业应用生成数据,例如XE原子数据和用于EUV光刻研究的Sn原子数据

 

支持平台

 

所有的Prism软件都是使用跨平台的C++用户界面(UI)软件开发的。应用程序还使用OpenGL图形应用程序框架。跨平台用户界面软件和OpenGL的使用使我们的代码可以在本机上运行:

  • MS Windows (7 或更新)
  • Linux (kernel 2.6.32 或更新)
  • Mac OSX (10.7 或更新)

 

仅支持64位平台。