提升良率的BKM-采用快速且高精度的APS传感器

使用APS大气颗粒度传感器能为你的晶圆厂做些什么？

通过实时无线监测空气中的颗粒物，改善机台装调过程和长期良率。通过无线测量进行快速的机台验证。

• 使用APS大气颗粒度传感器和软件，以无线方式收集和显示颗粒数据，用于实时机台诊断。
• 将过去和现在以及一种机台和另一种机台进行比较。
• 通过快速定位污染源并实时查看清洁、调整和维修的效果，节省时间。

缩短机台维护时间

• 在不打开机台的情况下实时检测颗粒度，因此不需要将工艺区域暴露于环境中。
• 使用有轻薄的APS大气颗粒度传感器，很容易找到颗粒物污染晶圆的地方。
• 一旦确定颗粒位置，有选择地清洁工具。

通过客观和可重复的数据降低机台消耗费用。

• 提高您的控片验证的一次成功，减少您的验证费用和提高可用性。
• 接收即将发生的机台故障的早期警告，并优化预防性维护计划。
• 从一个已知的干净机台建立一个基准，然后在提交控片晶圆之前在待测机台内传送APS空气颗粒传感器。