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产品介绍

半导体RGA与O2漏气即时监测系统

以独特的RGA残留气体分析系统与O2漏气侦测系统，为半导体工艺设备提供可靠的在线工艺检测解决方案。
WaferSense® AMS 晶圆型多功能测试片

CyberOptics AMS是能够快速量测振动、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台良率, 型号包括AMS150, AMS200和AMS300
WaferSense® APS 晶圆型颗粒污染侦测片

CyberOptics APS系列产品通过实时、无线地监测颗粒污染物，改进半导体机台装调方式和长期量产良率；更轻、更薄、更精确，型号包括APS150、APS200和APS300
ReticleSense® AMSR 光罩型多功能测试片

CyberOptics AMSR采用一体式测量装置进行快速的振动、水平和湿度测量，提高良率
ReticleSense® APSR/APSRQ 光罩型颗粒度量测片

CyberOptics APSR/APSRQ通过实时无线监测颗粒物数量改善机台调教和长期良率，型号为APSR和APSRQ
mBWR批量晶圆ID读取机

高速且可靠的批量晶圆读取机, 紧凑桌上型, 可对位notch, 正反两面均可读取, 作为sorter的补充从而提高效率

屏幕快照2019-03-09上午9.43.57