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mBWR批量晶圆ID读取机

高速且可靠的批量晶圆读取机, 紧凑桌上型, 可对位notch, 正反两面均可读取, 作为sorter的补充从而提高效率

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mBWR200是新一代技术领先的的晶圆ID批量读取设备，mBWR200能够精准且快速地读取各种不同材质晶圆上的OCR、条形码、二维码和QR-Code等，同时可以对一个cassette中的25个slots进行自动化的notch对准。mBWR200能够通过快速手动旋转cassette，实现对正反两面ID进行读取。mBWR200外观尺寸紧凑，读取速度和准确度高，为客户提供了高性价比的晶圆ID批量读取方案。

应用案例

• 自动化晶圆对位 (notch)

• 自动化晶圆ID读取

• 正反两面晶圆ID读取

• ID读取后可独立进行notch对准

特点介绍

• 对位Notch与读取8英寸晶圆ID在同一机台上完成
• 非常快速的ID读取时间- 35 秒/ 25 片
• 继承了WID110高级晶圆读取器
• 正面、反面读取功能
• 晶圆Mapping功能
• 读取ID后附加一次Notch对位
• 附洁净功能
• 可附RFID功能应用于晶圆正反两面
• 可选SECS/Gem界面
• 紧凑设计可用于桌上使用
• 人性化设计的半导体标准界面
• 可用于ISO 1-3级洁净度
• CE与FCC认证

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