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WaferSense® AMS 晶圆型多功能测试片

CyberOptics AMS是能够快速量测振动、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台良率, 型号包括AMS150, AMS200和AMS300

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AMS_350-355

产品特点：

无线、晶圆形状和电池供电 可提供150mm, 200mm, 300mm等尺寸 (AMS150, AMS200, AMS300)
三轴方向报告水平和倾斜 x方向, y方向和垂直方向
三轴方向报告加速度结果 x方向, y方向和垂直方向
湿度量测精度 +/- 2% RH
轻薄仅4.5mm厚度

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