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WaferSense® AMS 晶圆型多功能测试片

AMS是能够快速量测振动、水平和湿度的一体式多功能量测工具,帮助提高半导体机台良率, 型号包括AMS150, AMS200和AMS300

通过无线测量进行半导体机台的快速校准

使用AMS和MultiView™软件以无线方式收集和显示振动、水平和湿度数据,用于机台实时诊断,使用MultiReview™将过去和现在以及不同设备进行比较。 查看实时调整的影响,加快机台校准和装调的效率。

 

使用轻薄的晶圆外形可帮助缩短机台PM周期

3.5毫米更轻薄的外形能够让AMS去到更多的腔室内部,并适应更高的温度环境。使用真空兼容的AMS,保持工艺区域不暴露于工厂环境中。

 

通过客观和可重复的数据降低机台费用并提升机台工艺一致性

通过一次又一次的客观测量,将人为因素从机台调教中排除出去。一次又一次地进行正确的调整。预警有可能发生的机台故障,并优化预防性机台维护计划。

 

AMS_350-355

 

产品特点:

  • 无线、晶圆形状和电池供电 可提供150mm, 200mm, 300mm等尺寸 (AMS150, AMS200, AMS300)
  • 三轴方向报告水平和倾斜 x方向, y方向和垂直方向
  • 三轴方向报告加速度结果 x方向, y方向和垂直方向
  • 湿度量测精度 +/- 2% RH
  • 轻薄 仅4.5mm厚度