WaferSense® ATS 晶圆型中心校准片
CyberOptics ATS用于获取三轴偏移数据 (X、Y、 Z) 以快速校准晶圆传输位置，型号包括ATS200和ATS300
通过精确校正晶圆传输位置，提高良率和降低颗粒污染
获取偏移数据，以便在晶圆型ATS穿过半导体机台时精确校准传输位置，用精确校准过的机台能提高工艺良率
实现可重复和可复制的半导体机台调教
通过ATS的校准能够消除技术人员之间的操作差异，从而实现可重复和可重复的设置和维护检查
将机台停机时间从几小时减少到几分钟
由于机台在调教过程中能保持封闭，使用无线和兼容真空的ATS进行故障排除所需的时间更少。提高机台可用性，减少人力和消耗品费用
通过直观检查加快故障排除速度，降低消耗性费用
当机械手在机台内传送ATS时，接收实时图像。直观的图形用户界面提供了X、Y和Z偏移并避免人为猜测。在不打开机台的情况下，可搜索丢失的晶圆并确认底座没有碎屑
产品特点:
- 晶圆型 可提供200mm和300mm尺寸 (ATS200, ATS300)
- 高精度 x, y轴精度为+/-0.1mm (+/-0.004in) ; z轴精度为+/-0.8mm (+/-0.03in)
- 无线并适用于真空 像晶圆一样移动，在检查过程中机台保持密封，且用时更少，数据实时传输
- 易用的软件 TeachView和TeachReview应用软件根据用户定义的目标显示实时视频和测量值，并记录偏移量和用户备注。TeachTarget软件对ATS进行编程，以找到圆形特征
- 机载摄像头 机载图像处理器报告从ATS到机台内目标的X-Y-Z偏移，以便您可以校准晶圆传送坐标
