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ReticleSense® AMSR 光罩型多功能测试片

AMSR采用一体式测量装置进行快速的振动、水平和湿度测量,提高良率

采用无线量测可加速机台验证过程

采集并显示加速度、振动、水平和湿度数据。监测光罩环境中的湿度。使用带MultiView™和MultiReview™软件的AMSR进行实时机台诊断。查看实时调整、加快机台校准和设置的效果。

 

光罩型外观可缩短机台装调维护时间

6英寸光罩型传感器可移动到的任何光罩所在的地方。用真空适用的AMSR避免工艺区域暴露于工厂环境中

 

降低机台维护费用,提高工艺一致性,并提供客观的、可重复的数据

通过一次又一次的客观测量,在机台装调中避免人为因素的影响,对即将发生的机台故障及时做出正确的调整,并对预防性维护计划进行优化

 

AMSR_350-355

 

产品特点:

  • 光罩外形  Available in 6” reticle shaped form factor.
  • 报告三轴水平数据  x, y and vertical
  • 报告三轴加速度数据  x, y and z
  • 无线  Transmits data wirelessly to your laptop or PC in real-time.
  • 轻薄  6.35mm; standard 6” reticle format