Cyberoptics新推出的Waffersense®传感器Auto Multi-Sensor™（AMS），将自动水平传感器（ALS）、自动振动传感器（AVS）和湿度传感器集成在一个轻薄的、一体式多传感器中。ALS和AVS拥有良好的成功记录，因其易用性、出色的性能和方便的外形，赢得了FAB和半导体机台制造商用户的赞誉
相对湿度(RH)会导致哪些主要问题？ 半导体洁净室的相对湿度测量、监测和管理至关重要。当相对湿度偏离所需水平时，可能会造成高昂损失。超出参数（过高或过低）可能导致低良率、机台停机、机台性能偏离、报废或污染晶圆等问题。
WaferSense®和ReticleSense®测量工具提供了3方面显著贡献：
- 节省时间~88%，节省人力一半
- 节省开支~95%
- 增加效率~20倍
使用传统的光罩控片表面扫描、原地或手持方法，快速识别空气中颗粒的产生时间和地点以及污染源具有挑战性。 此外，由于这些方法缺乏实时反馈，通常“意外”的污染源无法被检测到，或者需要很长时间才能最终识别出来。
