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  • AMS应用案例:最大化机台Uptime并优化装调过程

    Cyberoptics新推出的Waffersense®传感器Auto Multi-Sensor™(AMS),将自动水平传感器(ALS)、自动振动传感器(AVS)和湿度传感器集成在一个轻薄的、一体式多传感器中。ALS和AVS拥有良好的成功记录,因其易用性、出色的性能和方便的外形,赢得了FAB和半导体机台制造商用户的赞誉

    17 19-03-30
  • 为何监测半导体机台环境中的相对湿度(RH)至关重要

    相对湿度(RH)会导致哪些主要问题? 半导体洁净室的相对湿度测量、监测和管理至关重要。当相对湿度偏离所需水平时,可能会造成高昂损失。超出参数(过高或过低)可能导致低良率、机台停机、机台性能偏离、报废或污染晶圆等问题。

    11 17-05-04
  • 提升良率的BKM-采用快速且高精度的APS传感器

    WaferSense®和ReticleSense®测量工具提供了3方面显著贡献:
    - 节省时间~88%,节省人力一半
    - 节省开支~95%
    - 增加效率~20倍

    15 17-03-31
  • 快速发现和解决半导体光刻中的Particle污染问题

    使用传统的光罩控片表面扫描、原地或手持方法,快速识别空气中颗粒的产生时间和地点以及污染源具有挑战性。 此外,由于这些方法缺乏实时反馈,通常“意外”的污染源无法被检测到,或者需要很长时间才能最终识别出来。

    19 17-03-09