由美国CyberOptics公司提供的WaferSense®与ReticleSense®无线量测技术，被半导体制造公司和OEM设备制造商所广泛使用；作为全球半导体无线量测的领导厂商，CyberOptics提供腔体间隙、振动、水平、中心对位、污染颗粒度、湿度等各种功能的无线量测工具，提供的高精度、高重复性的图形化与数据化量测，帮助半导体制造提升工艺良率和机台使用效率。